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中電熊貓8.5代線IGZOTFT器件從ESL結構向BCE結構的重大轉變
編輯:雁楓 [ 2017-7-24 8:55:35 ] 文章來源:數字標牌網
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近日,中電熊貓15.6BCE面板成功點亮。717日,15.6BCE面板在中電熊貓8.5代線成功點亮,中電熊貓2017年重點研發項目非晶態IGZO BCE制程量產工藝研究取得突破性進展!這標志著中電熊貓在IGZO技術領域的領先地位進一步確立,必將有力帶動面板產品的高端化,對中國電子、中電熊貓平板顯示產業創新發展具有重要意義。 

BCE結構(即背溝道蝕刻型結構)是IGZO TFT器件的一種結構類型。目前,中電熊貓8.5代線IGZO制程技術采用的是TFTESL結構(即刻蝕阻擋型結構),器件所占版圖空間較大,不利于實現更窄的邊框設計和更高的開口率;而BCE結構具有光刻次數少、器件小型化、制造成本低等優點,其技術開發量產有利于降低產品成本、實現高端產品開發、增強IGZO技術的市場競爭力。

此次15.6BCE面板成功點亮,標志著中電熊貓8.5代線IGZOTFT器件從ESL結構向BCE結構的重大轉變,朝著IGZO BCE制程量產邁出了重要一步,將助推中電熊貓產品向更高分辨率的高端產品轉型。 

今年2月起,中電熊貓正式啟動非晶態IGZO BCE制程量產工藝研究項目,組建項目團隊,開展項目攻關。項目實行分階段閉環管理,定期開展階段性成果測試與評價,實時監控項目進度和質量,先后解決了BCE制程中IGZO薄膜易腐蝕等關鍵性難題,完成了新靶材規格確認、新銅酸燒杯試驗、mask設計、試生產等一系列工作,并于717日首次試做即成功點亮, BCE工藝的優化工作也隨后完成。

南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司成立于20098月,總投資138億元,注冊資本48億元,中國電子信息產業集團有限公司(CEC)占股19%;中電熊貓信息產業集團有限公司(中電熊貓,CEC占股70%)占股51%;南京新港開發總公司占股18.8%;南京新型工業化投資(集團)有限公司占股11.2%。

六代線項目是CEC、中電熊貓和南京市貫徹落實國家電子信息產業振興規劃、實現彩電業轉型升級、促進產業結構調整的戰略舉措,是我國大陸引進的第一條電視用液晶面板生產線,也是迄今世界上技術最先進的六代液晶面板生產線。為保障六代線項目的全球競爭力,六代線項目全面導入了夏普公司G8、G10世界最新技術,具有技術先進、專利保障、投資節約、產業鏈垂直整合、技術再創新等方面優勢。項目于2009111日正式進行樁基工程,20113月底建成投產。經過五個多月的生產爬坡,六代線項目所產32寸電視面板達到60K產能和90%良品率,12月實現80K產能和良品率93%的目標,產能和良品率爬坡速度均達到國際一流水平。


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